當然，內閣領導說了，儘量不浪費資金和自願做重複研究。
廖部長也會說明情況。
實在不願意合作，那也沒辦法，隻能換其他高校和研究所。
“我了解到，夏科院那邊光刻機研究有不小的進展……”
“其實我有想過光刻機的研究難點，那種高精度的東西確實很難……為什麼我們不放大呢？”
“阿斯麥的光刻機一體化，我們能不能將光刻機放大，造一個光刻廠？”
“我記得夏科院有同步輻射光源技術已經有很大的研究成果！”
“清大那邊的趙教授，在2010年，提出了SSMB穩態微聚束的設想。”
“我想聯合夏科院和清大，做這方麵的研究……”
光刻廠！
未來被提出的研究方向。
是對光刻機的一種碾壓。
隻不過，在李易重生的時候，還沒有真正落地，但可以肯定這個也是一種解決光刻機的辦法！
而且是行得通的！
理論上
來說，通過同步輻射技術，對於大量接近光速的高能電子來說，隻要不斷改變它的方向，它就會不斷釋放出光子。
隨著速度衰減到足夠低。理論上可以得到，從X光到遠紅外範圍內的具有連續光譜、高強度、高度準直、高度極化、特性可精確控製的優異脈衝光源。
最高可以達到飛秒激光級。
自然包括EUV光源！
比較難的是，如何聚束，還是：穩態聚束。
電子在轉彎，會縱向滑移，聚束就沒法維持了。
激光和電子微聚束要以巧妙的角度調製。
怎麼保持好角度也很困難。
目前，高能所的第四代同步輻射光源，還沒獲突破性進展。
想通過複雜的插入件技術，讓光源質量進一步提升，有了更精尖的運用場景。
雖然還達不到用來製作光刻機，也就是在極紫外光源段，質量不夠、不夠細膩和穩定。
趙教授提出的SSMB方案——穩態微聚束。
兩者結合，能起到不錯的效果。
SSMB方案，把自由電子激光（FEL）搬進了同步輻射儲存環內。
為同步輻射的儲存環引入一個插入件。
這是高能所未來第四代高能同步輻射光源的研究成果。
加上SSMB方案，讓其擁有了產出高質量極紫外光源的能力。
唯一的缺點就是：貴！
同步輻射光源來製造‘光刻機’，理論可行，加上SSMB方案更可行，就是造價高！
同步輻射裝置造價成本高達數十億。
但是李易不差錢啊？！
但這東西，需要官方配合，同步輻射裝置也不是誰都可以建設的。
這玩意……占地就有幾十公頃！
幾百畝土地！
不過在燕都、臨海、廬州，都有同步輻射裝置可以借用。
同步輻射裝置造價很貴。
如果是SSMB-EUV方案製造光刻機，成本能降低幾倍。
而且‘光刻廠’占地其實不需要那麼大，數百平米就足夠了！
但‘光刻’隻是芯片生產領域中一個工序而已！
依舊需要搭配配套的晶圓廠才行。
“你這個想法，可行性似乎有……我幫你聯係夏科院、清大、以及燕都同步輻射光源實驗室，看看能不能一起合作，解決這方麵的問題。”
反正又不是官方出錢。
李易出錢！
高校、研究所、實驗室，有人投入巨大科研經費，還是研究這種超前技術，基本上不會拒絕這種投資。
更何況，這方麵還是內閣領導讓科技部門出麵協調，多少會給幾分麵子。
“那就先麻煩廖部長，這是臻誠銀行賬戶，100億資金已經準備好了，想必會更有說服力！”
廖部長和卓院士心裡一陣感慨，直呼：好家夥。
100億資金已經準備好了？
這100億的資金，躺在銀行賬戶裡，確實更具有說服力。
“沒問題！”
廖部長答應下來。
下一站，李易跟著廖部長前往夏科院。